Mewn ystafelloedd glân ar gyfer cynhyrchu microelectroneg a fferyllol, mae sylweddau asidig ac alcalïaidd amrywiol, toddyddion organig, nwyon cyffredinol, a nwyon arbennig yn aml yn cael eu defnyddio neu eu cynhyrchu yn y broses gynhyrchu;mewn cyffuriau alergenaidd, steroidau penodol Yn y broses o gynhyrchu cyffuriau organig, cyffuriau hynod weithgar a gwenwynig, bydd sylweddau niweidiol cyfatebol yn cael eu rhyddhau neu eu gollwng i'r ystafell lân.Felly, mae'r offer broses gynhyrchu neu weithdrefnau a all allyrru sylweddau niweidiol amrywiol, nwyon neu lwch yn yr ystafell lân ar gyfer cynhyrchu cynhyrchion uchod Sefydlu dyfais gwacáu lleol neu ddyfais gwacáu ystafell lawn.Yn ôl y math o nwy gwastraff a ollyngir yn ystod y broses gynhyrchu, gellir rhannu'r ddyfais wacáu (system) yn fras i'r mathau canlynol.
(1) System wacáu cyffredinol
(2) System wacáu nwy organig
(3) System wacáu nwy asid
(4) System wacáu nwy alcalïaidd
(5) System wacáu nwy poeth
(6) System wacáu sy'n cynnwys llwch
(7) System wacáu nwy arbennig
(8) System wacáu niweidiol a gwenwynig wrth gynhyrchu cyffuriau